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            Aero 320 自动超声波清洗机

            清洗对象:Magazine 铝合金治具框
            清洗流程:超声波清洗→超声波清洗→超声波清洗→净化热风烘干   清洗介质(纯水)

            典型用户:记忆储存科技(东莞)有限公司


            1. 设备型号名称:AERO 320 超声波清洗机

            2.  清洗对象:

                  A.      Ring 不锈钢晶圆环

            B.      Cassette 铝合金晶片盒

            C.      Magazine 铝合金治具框:规格244*82.5*127mm,重量0.4KG

            D.       Tray  塑料托盘

            工序方法

            清洗方式

            清洗时间

            清洗液

            加热功率

            使用温度

            过滤精度

            1

            推车进料

            2

            超声波清洗

            (压缩空气鼓泡)

            34-68KHZ/1.5W

            8-10 min

            清洗剂

            6KW

            40-60

            5μ

            平移式

            3

            超声波漂洗

            (压缩空气鼓泡)

            40-80KHZ/1.5W

            8-10 min

            纯水

            6KW

            40-60

            1μ

            4

            超声波漂洗

            (压缩空气鼓泡)

            40-80KHZ/1.5W

            8-10 min

            纯水

            6KW

            40-60

            1μ

            5

            热风干燥

            热风

            8-10 min

            9KW

            90-120

            平移式

            6

            推车出料














            3.  清洗工艺:进料→超声波清洗(40Khz)→超声波漂洗(40Khz)→热风循环烘干→出料

            4.  清洗工装

            4.1 设备配有规格为:430×430×400mm的清洗外框架5只,采用¢10mm不锈钢元棒焊接制作。Magazine、Cassette型产品直接装载到清洗外框架中清洗,其中B产品可装载2/篮,C型产品可装载8/篮。

            4.2  RingTray型产品需另外制作专用治具装载产品再放入清洗外框架上清洗。治具装载量为:Ring型产品不低于20/框,Tray型产品不低于30/框。治具数量:Ring三种规格各3只,Tray治具3只。


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